高端质谱类
飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS）
TOF-SIMS 5 iontof，PHI NanoTOFII ；900 元/样起
辉光放电光谱/质谱（GD-OES/MS）
GD Profiler 2/Element GD; GD-OES：2000 元/样；GD-MS：2200 元/样
三维原子探针(APT)
LEAP 5000HR 2500 元/小时
